真空釬焊爐是熱處理的大型設備，能夠進行真空釬焊、真空退火、真空時效等多種加工。可編多個不同程序，能控制和編入上百個熱處理曲線點，分上、下、左右、前后六區控溫，有多點和單點溫度記錄儀以及過溫保護裝置，爐溫均勻性可控制在恒定溫度范圍以內，另配有高純氮高流量強冷裝置。

　　設備(bei)真空(kong)系統(tong)主要由(you)真空(kong)室、泵(beng)系統(tong)和(he)各控制閥(fa)(fa)(fa)及熱交換(huan)器組(zu)(zu)(zu)成(cheng)。其中泵(beng)系統(tong)由(you)機械泵(beng)、維持(chi)泵(beng)、羅茨泵(beng)、擴散(san)泵(beng)等構(gou)成(cheng)。閥(fa)(fa)(fa)門包括(kuo)前(qian)級閥(fa)(fa)(fa)（碟(die)閥(fa)(fa)(fa)）、旁路閥(fa)(fa)(fa)（碟(die)閥(fa)(fa)(fa)）、維持(chi)泵(beng)閥(fa)(fa)(fa)（碟(die)閥(fa)(fa)(fa)）和(he)高閥(fa)(fa)(fa)（板閥(fa)(fa)(fa)）組(zu)(zu)(zu)成(cheng)，各閥(fa)(fa)(fa)門均為氣動閥(fa)(fa)(fa)，由(you)PLC控制氣動閥(fa)(fa)(fa)進行控制。加熱室主要由(you)不(bu)銹鋼加熱室殼體(ti)、不(bu)銹鋼反射屏(ping)、加熱器、陶瓷絕緣(yuan)件、水冷電(dian)極(ji)、爐(lu)床等組(zu)(zu)(zu)成(cheng)。

　　真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)釬焊爐運(yun)行(xing)時(shi)(shi)，首(shou)先(xian)啟(qi)動機械泵(beng)、維(wei)持泵(beng)和擴散泵(beng)（加(jia)熱(re)(re)），同時(shi)(shi)打開前級(ji)(ji)閥(fa)(fa)和維(wei)持泵(beng)閥(fa)(fa)，對(dui)擴散泵(beng)內進(jin)行(xing)抽真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)。當真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)達(da)到系(xi)統某一設(she)定(ding)(ding)值時(shi)(shi)，羅茨泵(beng)啟(qi)動，同時(shi)(shi)旁(pang)(pang)路閥(fa)(fa)打開，前級(ji)(ji)閥(fa)(fa)關閉，此時(shi)(shi)對(dui)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)室進(jin)行(xing)抽低真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)當擴散泵(beng)加(jia)熱(re)(re)至規(gui)(gui)定(ding)(ding)溫度(du)并且真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)高(gao)于規(gui)(gui)定(ding)(ding)值時(shi)(shi)，高(gao)閥(fa)(fa)打開，旁(pang)(pang)路閥(fa)(fa)關閉，前級(ji)(ji)閥(fa)(fa)打開。此時(shi)(shi)對(dui)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)室抽高(gao)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)，達(da)到工(gong)藝要求的真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)以后(hou)，方可進(jin)行(xing)熱(re)(re)處(chu)理工(gong)作(zuo)。熱(re)(re)加(jia)工(gong)過程完(wan)成(cheng)后(hou)，由熱(re)(re)交(jiao)換器(qi)對(dui)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)室充入高(gao)純氮(dan)氣進(jin)行(xing)強制冷卻，完(wan)成(cheng)整個(ge)工(gong)藝過程。